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划线机3

晶圆划片机

应用领域:

半导体封测领域

 

系列型号:

PHS1210

 

功能特点:

●  通用性:适用于硅、氮化镓、陶瓷、蓝宝石、玻璃等脆性材料的高精密切割

●  多功能:具备刀痕检测、非接触测高、刀片破损检测等功能

●  灵活性:根据生成的加工路径结合所选加工头(刀 1/刀 2/双刀)自动划切全部已选择工件

●  高精度:采用高精度定位平台结合高精度运动控制系统,划片精度±0.005mm

●  高效率:相较市场同类设备效率提升≥5%