应用领域:
半导体封测领域
系列型号:
PHS1210
功能特点:
● 通用性:适用于硅、氮化镓、陶瓷、蓝宝石、玻璃等脆性材料的高精密切割
● 多功能:具备刀痕检测、非接触测高、刀片破损检测等功能
● 灵活性:根据生成的加工路径结合所选加工头(刀 1/刀 2/双刀)自动划切全部已选择工件
● 高精度:采用高精度定位平台结合高精度运动控制系统,划片精度±0.005mm
● 高效率:相较市场同类设备效率提升≥5%